基本信息
| 标准名称： | 确定晶片坐标系规范 |
| 英文名称： | Specification for establishing a wafer coordinate system |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属物理性能试验方法 |
| ICS分类： | 电气工程 >> 半导体材料 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1996-01-01 |
| 实施日期： | 1997-04-01 |
| 首发日期： | 1996-11-04 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中国有色金属工业总公司 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1997-04-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：6， 字数：6千字 |
| 书号： | 155066.1-13651 |
适用范围
本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。
前言
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目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属物理性能试验方法 电气工程 半导体材料